بررسی حسگر گاز n2 بر پایه تغییرات خواص الکترونیکی سیلیسیوم متخلخل

در این پروژه هدف ما ساخت قطعه ای از جنس سیلیسیوم متخلخل است که بتواند نسبت به گاز بخصوصی مثلا نیتروژن حساسیت خوبی نشان دهد. در فصل اول این نسخه به بررسی خواص نیمه رساناها پرداخته و بعضی نیمرساناهای خاص را معرفی کرده ایم. در فصل دوم تعریف و خواص یک حسگر خوب و انواع مختلف حسگرها به اختصار توضیح داده شده و در نهایت با توجه به خواص سیلیسیوم متخلخل که در فصل دوم بیان شد و با الهام گرفتن از کارهایی که تا به حال در این زمینه انجام شده است، نمونه های سیلیسیومی مختلفی را با شرایط متفاوت تهیه نموده ایم. خواص الکتریکی آن ها را بررسی کردیم. گاز نیتروژن و برخی گازهای دیگر را از روی آنها عبور داده و تغییرات مشاهده شده را بیان کردیم در نهایت نتیجه آزمایش ها و اثر پارامترهای مختلف را در فصل 5 آورده ایم. این پروژه می تواند به دیگران در ساخت حسگر گاز نیتروژن کمک کند.